電子制造業(yè)萬級(jí)無塵車間有什么要求?卓為凈化來給大家科普一下吧!
一般來說,電子車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度應(yīng)控制在50-60%之間(專用無塵車間有相關(guān)的溫濕度規(guī)定)。這樣可以有效地消除靜電,使人感到舒適。集成電路芯片生產(chǎn)車間潔凈室和盤廠潔凈室屬于電子制造行業(yè)的重要組成部分,因?yàn)殡娮赢a(chǎn)品在制造過程中,生產(chǎn)的室內(nèi)空氣環(huán)境和質(zhì)量要求非常嚴(yán)格,主要以控制顆粒和粉煤灰為主要對(duì)象,并對(duì)環(huán)境溫濕度、新風(fēng)量、噪聲等都作了嚴(yán)格的規(guī)定。電子廠家萬家無塵室的噪聲級(jí)(空態(tài))不得大于65dB(A)。電子廠垂直流潔凈室總布比不得小于60%,水平單向潔凈室不得小于40%,否則為局部單向流動(dòng)。電子廠潔凈室與外界的靜壓差不應(yīng)小于10pa,空氣潔凈度不同的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5pa。電子制造行業(yè)萬潔凈室的新鮮空氣量應(yīng)以以下兩項(xiàng)為上限。補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新風(fēng)量之和。確保潔凈室的新風(fēng)送風(fēng)不小于40m3。
粉塵顆粒:粉塵顆粒是細(xì)菌、病毒的良好載體,所以萬級(jí)凈化車間項(xiàng)目的首要任務(wù)是“除塵”。顆粒≥0.5微米的數(shù)量不允許超過350萬;顆?!?微米不能超過20000。兩個(gè)微生物:1.微生物,像灰塵顆粒,也有一個(gè)允許的數(shù)量。浮游植物不超過500/m3;2.每個(gè)培養(yǎng)皿中含有不超過10個(gè)沉積細(xì)菌。3.壓差:根據(jù)潔凈度等級(jí)分為兩種情況:一是壓差;對(duì)于潔凈度等級(jí)相同的潔凈室,應(yīng)保持壓差一致;二是潔凈室的清潔水平,相鄰潔凈室之間的壓差應(yīng)大于或等于5pa和潔凈室之間的壓力差和non-clean房間應(yīng)該大于或等于10pa(主要是為了確保氣流從清潔區(qū)到non-clean區(qū)域,以避免空氣回流)。
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