榜首、換氣次數(shù)

　　費(fèi)用要素變量：-0.08至0.19

　　千級(jí)無(wú)塵車間內(nèi)的空氣分配設(shè)備（一般是吊頂過(guò)濾器）被規(guī)劃成“噴淋式”，用來(lái)供給一致的、潔凈的已過(guò)濾的空氣。向房間補(bǔ)給的空氣量，讓人想起與普通的淋浴噴頭相反的消防龍頭。美國(guó)聯(lián)邦規(guī)范209E、日本規(guī)范JIS B9920和ISO 規(guī)范14644-1的標(biāo)題是：潔凈室外和有關(guān)操控環(huán)境——榜首部分：清洗空氣的分級(jí)。這些規(guī)范供給了潔凈室參數(shù)、分級(jí)和檢查方法的指導(dǎo)方針，但并未闡明怎么經(jīng)濟(jì)有效地到達(dá)請(qǐng)求。這是因?yàn)槊糠N出產(chǎn)過(guò)程和潔凈室外的請(qǐng)求是不一樣的，因而，能夠選用不一樣的再循環(huán)空氣量，到達(dá)預(yù)期的環(huán)境請(qǐng)求。

　　至少有五種不一樣的“也許”規(guī)劃能夠到達(dá)預(yù)期的成果，但是只要一種規(guī)劃是最好方案。為項(xiàng)目尋覓最好和最經(jīng)濟(jì)的解決方案，是潔凈室外換氣項(xiàng)目的最根本的方針理念。

　　房間內(nèi)污染物的比率和實(shí)踐微粒發(fā)生狀況，是影響潔凈室空氣換氣次數(shù)的主要要素。在出產(chǎn)過(guò)程中，不對(duì)別的要素發(fā)生任何影響的狀況下，清除微粒的速度是非常重要的。別的也許影響再循環(huán)空氣數(shù)量的要素是：房間的構(gòu)造、設(shè)備的方位、設(shè)備外表溫度、空氣對(duì)流、氣流類型（單向經(jīng)過(guò)敏感區(qū)或許經(jīng)過(guò)全空間）、操作空間和規(guī)章、運(yùn)用的資料和化學(xué)藥品等。

　　千級(jí)無(wú)塵車間也許需要在靜態(tài)下進(jìn)行判定，在工況下進(jìn)行判定，對(duì)出產(chǎn)過(guò)程進(jìn)行承認(rèn)或許cGMP認(rèn)證。由歸納效勞辦理部制定的聯(lián)邦規(guī)范209（e），主張100或90fpm。但是有也許樹立一個(gè)空氣活動(dòng)速度較低，但比100級(jí)潔凈度更高的潔凈室。實(shí)踐上，現(xiàn)已有潔凈室的空氣活動(dòng)速度是45cfm/平方英尺。

　　第二、單向的、紊流的、筆直或水平氣流

　　費(fèi)用要素變量：-0.073至0.18

　　在很多案例中，單向氣流只在小空間和凈化車間的敏感區(qū)域內(nèi)運(yùn)用，而且運(yùn)用微環(huán)境。污染物的源頭也許存在于手套箱、過(guò)濾模塊等當(dāng)?shù)亍６鄶?shù)規(guī)劃為全體單向氣流潔凈室外的方案，只要在這些區(qū)域中沒有操作者、出產(chǎn)設(shè)備和排風(fēng)設(shè)備時(shí)才干完成單向氣流。筆直或水平氣流的挑選，取決于房間的構(gòu)造和設(shè)備的安放方位，紊流就能夠?qū)⑽廴疚飵ё摺?/span>

　　潔凈室內(nèi)的架空地板是用來(lái)掩蓋東西、設(shè)備與動(dòng)力設(shè)備之間的電線、通訊電纜、水電、管道的連接的。后來(lái)，為了節(jié)省本錢，在“bay-and-chase”式的潔凈室構(gòu)造中，這些架空地板被當(dāng)作從港灣到夾層的回內(nèi)通道。在徹底單向氣流的潔凈室內(nèi)，大家期望微粒從作業(yè)區(qū)域流到帶小孔的地板下。咱們現(xiàn)已成功的樹立了10級(jí)和100級(jí)的潔凈室，在這些潔凈室內(nèi)沒有架空地板，選用墻下部回風(fēng)體系，而且潔凈室的氣流被規(guī)劃成紊流。另個(gè)一種方法是用薄的空氣噴射設(shè)備阻隔超清洗區(qū)域，這種空氣噴射的速度是每分鐘500到800英尺。它的功用類似于塑料門簾。

　　第三、空氣過(guò)濾體系

　　費(fèi)用要素變量：-0.032至0.10

　　選用未端HEPA過(guò)濾器對(duì)空氣進(jìn)行過(guò)濾，0.3到0.5微米的去掉功率為99.99%,0.12微米的去掉功率為99.999%;若運(yùn)用ULPA過(guò)濾器，0.12微米的去掉功率為99.99995%。

　　依據(jù)潔凈室外的用處，也能夠挑選別的的設(shè)備，例如，在循環(huán)風(fēng)加新風(fēng)處理體系中，運(yùn)用HEPA過(guò)濾器用碳吸附或類似功用的構(gòu)成過(guò)濾器處理VOC，靜電過(guò)濾箱，等等。

　　在千級(jí)無(wú)塵車間市場(chǎng)上，風(fēng)機(jī)過(guò)濾不再是新產(chǎn)品，正確的應(yīng)用它能夠?yàn)楹芏喔咚綕崈羰夜┙o杰出的、經(jīng)濟(jì)的解決方案，尤其是在吊頂高度有限的建筑內(nèi)。已證實(shí)下降本錢和減小過(guò)濾器的壓降（在潔凈室壽數(shù)期內(nèi)，運(yùn)用低等級(jí)過(guò)濾器，長(zhǎng)期選用高壓降方法運(yùn)轉(zhuǎn)，所帶來(lái)的效益并不老是非常顯著）。

　　第四、空氣處理器

　　費(fèi)用要素變量：-0.07至0.15

　　新風(fēng)處理空調(diào)箱[Make-up AHU s]。典型的新風(fēng)處理空調(diào)箱（初級(jí)AHU s）為循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱（二級(jí)AHU s）供給必需的新風(fēng)。新風(fēng)由離心排風(fēng)機(jī)、軸流或plug風(fēng)機(jī)加上過(guò)濾器、預(yù)熱和再熱用熱水盤管、冷卻和除濕運(yùn)用的冷凍水盤管、蒸汽和絕熱加濕器等構(gòu)成。附件和區(qū)別包含靜電空氣混合器、蒸汽預(yù)熱盤管、超聲波加濕器、鹽水、除濕用的直接交流[Dx]或乙二醇低溫冷凍盤管、VOC吸附過(guò)濾器、噪聲衰減器，VFP（變頻）驅(qū)動(dòng)等。

　　新風(fēng)處理空調(diào)箱通道是將空氣寫入集管，再經(jīng)過(guò)支管體系給循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱供給新風(fēng)。在初級(jí)和二級(jí)風(fēng)管上進(jìn)行空氣測(cè)量，并調(diào)節(jié)送風(fēng)機(jī)、VFD或進(jìn)口風(fēng)閥以便穩(wěn)定風(fēng)量。Magnahelic講量器臨測(cè)設(shè)備在各個(gè)空調(diào)箱內(nèi)HEPA過(guò)濾器布袋過(guò)濾器和預(yù)過(guò)濾器的荷載。有吊頂風(fēng)機(jī)過(guò)濾器的狀況下，新風(fēng)處理空調(diào)箱出來(lái)的空氣進(jìn)入循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱再送出。

　　循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱（Recirculation AHU s）。典型的循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱由高效離心式風(fēng)機(jī)、過(guò)濾器和濕熱（干）冷盤管構(gòu)成。附加和區(qū)別包含用于部分溫度操控的再熱盤管、用于部分濕度操控的蒸汽或超聲波加濕器、風(fēng)量穩(wěn)定操控箱。這種選用Whisper-Air and Compac Space 風(fēng)機(jī)體系的方法供給了一種節(jié)省本錢和充沛運(yùn)用動(dòng)力的挑選。

　　多重循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱經(jīng)過(guò)送風(fēng)管，再經(jīng)過(guò)ULPA過(guò)濾器或HEPA過(guò)濾器，將空氣送入潔凈室，在潔凈度等級(jí)為10級(jí)和1級(jí)的潔凈間的吊頂上，這些過(guò)濾器一般是100%覆蓋。筆直單向氣流向下經(jīng)過(guò)潔凈間，穿過(guò)帶孔的架空地板磚進(jìn)入地板下面的回風(fēng)空間，再經(jīng)過(guò)筆直回風(fēng)夾道向上進(jìn)入吊頂回風(fēng)靜壓箱。然后 ，空氣再次進(jìn)入循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱，以上的空氣循環(huán)再次重復(fù)。假如是運(yùn)用吊頂風(fēng)機(jī)過(guò)濾器，在風(fēng)機(jī)過(guò)濾器上面的吊頂空間時(shí)，能夠設(shè)備水或直接交流冷卻[DX-cooled]風(fēng)機(jī)盤管完成外表冷卻。

　　第五、空氣壓差

　　費(fèi)用要素變量：-0.041至0.08

　　潔凈室增壓是有必要的，它的作用是保證潔凈室遠(yuǎn)離其接近區(qū)域的污染，操控有害污染物的流向，防止不一樣區(qū)域間的穿插污染，并協(xié)助堅(jiān)持所請(qǐng)求的溫度和濕度水平。

　　潔凈室與有關(guān)走廊、設(shè)備內(nèi)的別的區(qū)域的壓差應(yīng)堅(jiān)持在0.25到0.005英寸水柱（in.w.g.）之間。一般制藥公司所請(qǐng)求的壓差值比這更高，在不一樣區(qū)域之間選用層疊壓差來(lái)防止穿插污染。在不一樣的區(qū)域間設(shè)備一系列的層疊式氣閘和答應(yīng)空氣快速分散的正壓門，然后發(fā)生壓差。好的微電子潔凈室規(guī)劃中，一般在潔凈室的進(jìn)口設(shè)備一個(gè)半密封的氣閘來(lái)使壓差堅(jiān)持在0.02到0。005in.w.g.之間。更衣間和穿衣間用氣閘分離。進(jìn)口入的機(jī)械風(fēng)淋相關(guān)于它的必要性而言，更是設(shè)備文明和潔凈室的原則問題。

　　很多微電子和光刻潔凈室成功地選用被迫氣壓操控，只要在大門悉數(shù)翻開的狀況下，進(jìn)口處的風(fēng)量堅(jiān)持在每分鐘50到100英尺。一些生物制藥公司請(qǐng)求主動(dòng)壓差操控，選用彌補(bǔ)新風(fēng)的方法，主動(dòng)補(bǔ)足經(jīng)過(guò)門走漏的空氣（當(dāng)門翻開時(shí)）。

　　第六、溫度操控

　　費(fèi)用要素變量：-0.0321至 0.15

　　溫度和濕度的改變能夠引起出產(chǎn)設(shè)備的差錯(cuò)，然后影響出產(chǎn)過(guò)程的可重復(fù)性，終究致使產(chǎn)品合格率下降、添加糟蹋。因而，潔凈室對(duì)溫度嚴(yán)格操控請(qǐng)求是顯而易見的，這項(xiàng)費(fèi)用是有必要的。

　　一般狀況下，請(qǐng)求工程師在規(guī)劃時(shí)下降施工費(fèi)用，一起請(qǐng)求在很大區(qū)域內(nèi)對(duì)溫度進(jìn)行準(zhǔn)確的操控，答應(yīng)的溫度改變規(guī)模在±4到6華氏度之間（例如運(yùn)用卷簾門的倉(cāng)庫(kù)）。在沒有硬墻和氣閘設(shè)備時(shí)，這將是非常嚴(yán)苛的請(qǐng)求，而且實(shí)踐上無(wú)法操控濕度的改變。大家一般以為潔凈室外的潔凈度、溫度、濕度和氣壓等項(xiàng)目的層疊性是非常容易到達(dá)的，而且很容易堅(jiān)持，但需要細(xì)心的評(píng)價(jià)這些項(xiàng)目的差錯(cuò)規(guī)模。

　　假如對(duì)潔凈室內(nèi)的暖通、動(dòng)力專業(yè)設(shè)備和操控體系有嚴(yán)格請(qǐng)求，例如潔凈室的溫度操控請(qǐng)求為正負(fù)0.1華氏度所用花費(fèi)，也許比基準(zhǔn)點(diǎn)為70華氏度，±2.0度（即規(guī)范請(qǐng)求68到72華氏度）的高出20%到50%。

　　在每個(gè)潔凈室區(qū)域內(nèi)，有部分主動(dòng)調(diào)溫器來(lái)操控規(guī)劃溫度。它能驅(qū)動(dòng)設(shè)備在風(fēng)管上的部分再熱或再冷盤管作業(yè)，來(lái)滿意房間內(nèi)的濕熱的請(qǐng)求。假如運(yùn)用風(fēng)機(jī)盤管設(shè)備，部分主動(dòng)調(diào)溫器操控本區(qū)域內(nèi)盤管出口空氣的溫度。

　　第七、溫度操控

　　費(fèi)用要素變量：-0.034至0.19

　　每個(gè)千級(jí)無(wú)塵車間內(nèi)的相對(duì)濕度，經(jīng)過(guò)部分濕度調(diào)節(jié)器來(lái)進(jìn)行操控。假如窨?jī)?nèi)的相對(duì)濕度較高，恒濕器經(jīng)過(guò)下降冷凍盤管流出空氣的溫度來(lái)加強(qiáng)除濕。一起，再熱盤管供給熱量來(lái)堅(jiān)持窨的溫度。任何一個(gè)潔凈間的相對(duì)濕度超出了規(guī)劃規(guī)模，部分恒濕器將發(fā)動(dòng)設(shè)備在風(fēng)管上的部分濕度調(diào)節(jié)器。當(dāng)有必要滿意準(zhǔn)確的濕度操控時(shí)，一般運(yùn)用空調(diào)箱中的新風(fēng)的絕熱增濕作用來(lái)完成，并經(jīng)過(guò)潔凈室的結(jié)露點(diǎn)來(lái)堅(jiān)持。

　　濕度水平的部分變化能夠經(jīng)過(guò)超聲波濕度調(diào)節(jié)器進(jìn)行操控，該調(diào)節(jié)器坐落終究過(guò)濾前的風(fēng)管靜壓箱內(nèi)。用水水質(zhì)為RO/DI，水電陰率在3到5mgm之間。假如相對(duì)濕度低于規(guī)劃規(guī)模，恒濕器將發(fā)動(dòng)濕度調(diào)節(jié)器來(lái)添加新風(fēng)的水分含量。假如相對(duì)濕度較高，恒濕器將下降新風(fēng)操控冷凍盤管流出空氣的露點(diǎn)溫度，然后加強(qiáng)除濕作用。

　　第八、排風(fēng)體系

　　費(fèi)用要素變量：-0.031至0.16

　　典型的技術(shù)排風(fēng)體系包含：酸、溶劑和VOC、毒性物質(zhì)、熱和一般的房間排風(fēng)。假如廢氣中有氨氣呈現(xiàn)，一些廠家會(huì)挑選運(yùn)用分隔的風(fēng)管體系和處理體系。運(yùn)用最多、最遍及的酸消除方法，是水平或筆直氣體洗刷塔。溶劑和VOC的去掉一般運(yùn)用就地或當(dāng)場(chǎng)高溫破壞的方法。需要仔細(xì)挑選支隊(duì)的方法及有必要支隊(duì)的廢氣流量。

　　優(yōu)異的空氣處理設(shè)備能夠?qū)U氣量降至最低，因而，在施行過(guò)程中可下降工程費(fèi)用和動(dòng)力糟蹋。堅(jiān)持排風(fēng)量添加的潛在需要、擴(kuò)大出產(chǎn)和設(shè)備這些備用品所需的經(jīng)濟(jì)價(jià)值之間的平衡是非常重要的。一般狀況下，思考到潔凈室將來(lái)的拓展，當(dāng)其它動(dòng)力設(shè)備和暖通、動(dòng)力專業(yè)體系（例如新風(fēng)和冷卻）不能滿意這種擴(kuò)充的需要時(shí)，超大的貴重的、不銹鋼面料的或FRP排風(fēng)體系就現(xiàn)已樹立了。沒有思考將來(lái)的

　　需要而樹立的酸排隊(duì)體系也是非常遍及的。添加風(fēng)量和新的風(fēng)管支管，，就會(huì)使風(fēng)管體系中的風(fēng)速超越每分鐘4000英尺。這么的體系堅(jiān)持平衡是非常困難的或不也許的，而且運(yùn)轉(zhuǎn)的費(fèi)用貴重。

　　第九、振蕩和噪聲操控

　　費(fèi)用要素變量：-0.027至0.10

　　設(shè)備的巨細(xì)和分量影響振蕩的傳達(dá)及操控。潔凈室地板下面的“華夫（waffle）”混凝土板層，能夠極好地防止將設(shè)備的振蕩傳送到別的出產(chǎn)區(qū)域或度量衡東西上。即便為了設(shè)備管道而在潔凈室的地面上鉆洞，Waffle混凝土板層仍能堅(jiān)持其風(fēng)性。因?yàn)榈匕宓膹?qiáng)度在于它的柵格體系，并可進(jìn)行重新整理。因而可在地板上沖壓額定的孔洞，而不會(huì)對(duì)振蕩要素有任何副作用。

　　一切的暖通、動(dòng)力專業(yè)設(shè)備應(yīng)運(yùn)用繃簧、軟件接和阻隔設(shè)備等隔絕振蕩的方法，將振蕩效應(yīng)降到最低。低噪音的節(jié)能風(fēng)機(jī)和馬達(dá)，能夠用來(lái)堅(jiān)持潔凈室NC水平。振蕩和噪聲方面的專家應(yīng)是評(píng)價(jià)小組的成員，他們來(lái)領(lǐng)袖用于振蕩和噪聲方面的專家應(yīng)是評(píng)價(jià)小組的成員，他們來(lái)核實(shí)用于振蕩和噪聲操控中的機(jī)械和建筑學(xué)原理。完工后的再處理也許是非常貴重的。假如建筑師、暖通、動(dòng)力專業(yè)工程師、業(yè)主和參謀從規(guī)劃的開端就思考這些要素，能夠免除很多潛在的貴重的檢查，或用更經(jīng)濟(jì)的方法代替。

　　第十、磁通量和電磁通量

　　費(fèi)用要素變量：0.037至0.15

　　磁通量被以為是銀河系中海洋微粒布景的流量。銀河系的放置也被以為是自然界的電磁循環(huán)?！巴俊边@個(gè)詞代表流量，咱們能夠以為磁力線就象某種液體活動(dòng)的道路那樣穿過(guò)一個(gè)設(shè)想的外表。磁場(chǎng)的巨細(xì)代表活動(dòng)的速度，它的方向即是活動(dòng)的方向。磁通量即是流過(guò)這個(gè)外表的一切的容量。為了更好地理解，咱們能夠以為磁通量即是穿過(guò)這個(gè)外表的磁力線的數(shù)量。

　　關(guān)于給定的速度，當(dāng)微粒移動(dòng)的方向筆直于磁場(chǎng)方向時(shí)，磁力是最大的，當(dāng)與磁場(chǎng)方向?qū)Φ冗\(yùn)動(dòng)時(shí)，磁場(chǎng)力為零。

　　在大多數(shù)根本水平，移動(dòng)電荷之間的相互作用發(fā)生磁力，就象靜電發(fā)生于導(dǎo)電電荷與別的導(dǎo)電電荷（不管他們是不是運(yùn)動(dòng)）之間的相互作用。

　　經(jīng)過(guò)對(duì)行星的攝影研討標(biāo)明，因?yàn)榈厍虻姆胖煤退刍慕饘賰?nèi)核使得它有一個(gè)強(qiáng)壯的磁場(chǎng)。磁通量的密度（代替“牛頓的每安培米”）有它自己的單位---特斯拉。地球外表的磁場(chǎng)近似代表值是二分之一高斯，大約是200,000特斯拉。在對(duì)大眾開放的區(qū)域內(nèi)，工作安全和健康請(qǐng)求磁場(chǎng)強(qiáng)度不能大于5個(gè)高斯。

　　潔凈室的磁場(chǎng)防護(hù)是非常貴重的。例如，千級(jí)無(wú)塵車間運(yùn)用4到5毫米厚的磁性（鐵--硅）鋼板（M15型）作為屏蔽資料仍不能滿意請(qǐng)求。當(dāng)時(shí)的半導(dǎo)體、度量衡和通訊實(shí)驗(yàn)室區(qū)域內(nèi)請(qǐng)求磁通量的強(qiáng)度限制在0.05高斯或更低。