集成電路百級無塵車間是為了滿意半導(dǎo)體制作技能需求的潔凈室，該百級無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振蕩、ESD、AMC操控等都有必定的請求。有關(guān)于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制作百級無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度操控精度高級特色。

　　依據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特色能夠?qū)崈羰曳譃槿N類型：循環(huán)空調(diào)機(jī)合作高效送風(fēng)口體系、循環(huán)風(fēng)機(jī)合作濕式密封體系和FFU循環(huán)體系。

　　第一種方式在小規(guī)模低等級請求的潔凈室車間規(guī)劃中被廣泛應(yīng)用，關(guān)于大面積高級級的潔凈車間則存在運(yùn)轉(zhuǎn)本錢過高、占用空間過大等缺陷。

　　第二種方式的規(guī)劃能夠滿意集成電路制作百級無塵車間大面積高級級的請求，但運(yùn)轉(zhuǎn)本錢較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)艱難，體系升級改造艱難，因而操作靈活性很低。

　　第三種的FFU循環(huán)體系不只節(jié)約運(yùn)轉(zhuǎn)空間、潔凈度安全性高、運(yùn)轉(zhuǎn)本錢低，并且操作靈活性很高，能夠在不影響出產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行體系升級和調(diào)整，這些都能極好地滿意半導(dǎo)體制作的需求，因而在半導(dǎo)體制作業(yè)FFU循環(huán)體系逐步變成最主要的凈化規(guī)劃方案。

　　FFU循環(huán)體系的特色是：全部潔凈室由靜壓層、技能層、技能輔佐層和回風(fēng)通道構(gòu)成，由FFU供給循環(huán)空氣的動力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后經(jīng)過超高效過濾器送入技能層和技能輔佐層，靜壓層有關(guān)于技能層為負(fù)壓。此外，還有出產(chǎn)輔佐區(qū)為集成電路制作廠務(wù)設(shè)備區(qū)域，包含電力供給、氣體和化學(xué)品供給、超純水供給等。

　　集成電路制作對百級無塵車間環(huán)境的操控有較為嚴(yán)厲的請求。不一樣的技能制程對潔凈度的請求也各不相同，例如光刻請求在1級的微環(huán)境下，而化學(xué)機(jī)械研磨則只請求1000級的環(huán)境即可。

　　別的，集成電路制作潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有有關(guān)的規(guī)定和請求，尤其是振蕩的操控，在潔凈室的修建結(jié)構(gòu)規(guī)劃上就要有所請求。

　　好的潔凈車間規(guī)劃不只能節(jié)約能源、下降運(yùn)轉(zhuǎn)本錢、下降人力投入，并且能夠給出產(chǎn)供給安全可靠的確保。在3種潔凈體系中，F(xiàn)FU循環(huán)體系運(yùn)轉(zhuǎn)本錢最低，潔凈度安全性最高，因而集成電路潔凈廠房多選用FFU循環(huán)體系。而潔凈度請求越高，溫濕度操控精度越高則潔凈室出資和運(yùn)轉(zhuǎn)本錢越高，因而在大環(huán)境潔凈度或溫濕度請求相對較低的情況下，將一些要害的技能設(shè)備安置在較高潔凈度或溫濕度操控區(qū)域內(nèi)是集成電路制作潔凈廠房的規(guī)劃趨勢。

　　集成電路制作是高能耗的產(chǎn)業(yè)，而潔凈空調(diào)體系的能耗則占其間的30%以上，因而節(jié)能安全的潔凈室規(guī)劃和各種熱能回收規(guī)劃將是將來的發(fā)展方向。

　　跟著集成電路制作技能的不斷升級，干流大廠現(xiàn)已進(jìn)入了納米年代，集成電路制作潔凈廠房的規(guī)劃締造和節(jié)能立異也需求不斷提高，為先進(jìn)制程商品出產(chǎn)供給保證。