術(shù)語：

　　在潔凈廠房規(guī)劃規(guī)范中GB50073-2001中給百級無塵車間的三種狀況做了以下定義：

　　空態(tài) as-built百級無塵車間測驗

　　設(shè)備現(xiàn)已建成，全部動力接通并作業(yè)，但無出產(chǎn)設(shè)備、資料及人員。

　　靜態(tài) at-rest

　　設(shè)備現(xiàn)已建成，出產(chǎn)設(shè)備現(xiàn)已裝置，并按業(yè)主及技術(shù)商同意的狀況下作業(yè)，但無出產(chǎn)人員。

　　動態(tài) operational

　　設(shè)備已規(guī)則的狀況作業(yè)，有規(guī)則的人員在場，并在商定的狀況下進(jìn)行作業(yè)。

　　在ISO14644中規(guī)則將百級無塵車間查看期間區(qū)分如下：

　　空態(tài)百級無塵車間的查看——Installation qualificafion(IQ)靜態(tài)百級無塵車間的查看——Operational qualificafion(OQ)動態(tài)百級無塵車間的查看——Performance qualificafion(PQ)空態(tài)百級無塵車間的查看(IQ)

　　查看空態(tài)百級無塵車間和裝置的設(shè)備是不是契合規(guī)劃，最少要查看下列各點：

　　1、百級無塵車間設(shè)備的成套性；

　　2、全部能源載體和技術(shù)介質(zhì)的供給（水、電、蒸汽、壓縮空氣、氣體等）是不是契合規(guī)劃；3、共用和輔佐設(shè)備功能作業(yè)是不是準(zhǔn)確；

　　4、所以控制系統(tǒng)，監(jiān)控器，報警和警報器等的檢定（查看）日期；5、裝置質(zhì)量；

　　6、裝置過濾器（終究過濾器）的完整性；

　　7、電源和設(shè)備是不是有備份，其間包含空氣處理設(shè)備的風(fēng)量余量；8、壓差；

　　9、氣流特性（單向氣流——流速，均勻性和氣流方向）；10、保護(hù)構(gòu)造的密閉性；

　　11、查看循環(huán)空氣與室外空氣的份額是不是契合規(guī)劃；12、外表潔凈度；

　　13、包裝中是不是有備件。

　　查看HEPA（ULPA）過濾器的完整性具有主要意義，此項查看對ISO6級、ISO5級及更高等級的凈化車間來說特別必要。應(yīng)查看外表潔凈度及保護(hù)構(gòu)造的密閉性（對ISO1級~ISO5級的百級無塵車間特別主要）。

　　靜態(tài)百級無塵車間的查看(OQ)

　　本期間的查看最少應(yīng)完結(jié)下列各項作業(yè)：

　　1、承認(rèn)潔凈區(qū)區(qū)分準(zhǔn)則是不是契合請求；

　　2、斷定百級無塵車間在通過污染水平增加后的自凈時刻參數(shù)；3、斷定堅持溫度和相對濕度的穩(wěn)定性；

　　4、按粒子數(shù)斷定潔凈度等級；

　　5、斷定壓差；

　　6、在必要的場合應(yīng)按粒子和微生物污染水平斷定外表的潔凈度；7、斷定照度；

　　8、斷定噪聲級；

　　9、利用必要的東西目視查看氣流并查看換氣次數(shù)（必要時）；10、將獲得數(shù)據(jù)成果寫成書面文件。

　　動態(tài)百級無塵車間的查看(PQ)

　　為了評價動態(tài)百級無塵車間作業(yè)的穩(wěn)定性：

　　1、驗證百級無塵車間切割準(zhǔn)則；

　　2、評價將溫度和相對濕度堅持在規(guī)則范圍內(nèi)的才能；3、按粒子數(shù)查看潔凈度等級并斷定空氣中的微生物濃度（必要時）；4、驗證壓差；

　　5、按粒子數(shù)和微生物數(shù)量斷定外表潔凈度（必要時）；6、查看百級無塵車間作業(yè)文件的成套性，其間包含參數(shù)的查看辦法，百級無塵車間作業(yè)事端及采取的辦法等，是不是有根本的規(guī)程，如百級無塵車間打掃、更衣、人員清潔等方面的規(guī)程等；7、查看人員是不是通過培訓(xùn)，是不是有培訓(xùn)體系和相應(yīng)的文件；必要時還要查看振蕩強(qiáng)弱，空氣電離程度，電磁場強(qiáng)度?？筛鶕?jù)百級無塵車間的特色改動測驗的具體內(nèi)容。

　　在運用過程中，應(yīng)對百級無塵車間的參數(shù)進(jìn)行平時監(jiān)控，監(jiān)控要有必定的周期性，百級無塵車間用戶可根據(jù)規(guī)范文件的請求斷定這種周期性查看可在百級無塵車間作業(yè)過程中進(jìn)行（重復(fù)查看）；發(fā)作下列各項后需進(jìn)行重復(fù)查看：

　　1、凈化車間達(dá)不到給定參數(shù)的因素已消除；

　　2、與運用條件例如百級無塵車間的運用有較大差異（如改動技術(shù)流程等）；3、空氣長時刻中止流轉(zhuǎn)（進(jìn)風(fēng)）而影響百級無塵車間作業(yè)；4、做了影響百級無塵車間作業(yè)的單個保護(hù)或修補(bǔ)作業(yè)，如替換HEPA過濾器以后。