現(xiàn)在，千級無塵車間已廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)的商品出產(chǎn)或別的請求避免粒子污染、微生物污染的環(huán)境操控，因為各行各業(yè)的商品特性不一樣、各種商品的出產(chǎn)技術(shù)不相同，運用請求不一樣，因而請求操控環(huán)境的內(nèi)容、目標均不會相同。所謂無塵車間的環(huán)境操控的內(nèi)容應(yīng)當包含：空氣凈化、潔凈修建、與商品直接觸摸的水或氣體或化學(xué)品和出產(chǎn)設(shè)備、工器具等的污染物操控以及微振蕩、噪聲、靜電的操控、避免等。所以無塵車間的規(guī)劃不只請求對室內(nèi)的空氣進行凈化到達規(guī)則的空氣潔凈度等級，還必須避免因無塵車間的締造用資料、裝修方式不當帶來的污染，有的無塵車間還請求供應(yīng)超純水、超純氣體和高純的化學(xué)品等。

　　1、半導(dǎo)體集成電路請求的空氣潔凈度等級

　　集成電路出產(chǎn)環(huán)境請求的空氣潔凈度等級首要取決于集成電路的集成度，不一樣工序的空氣潔凈度等級是根據(jù)也許污染的概率和對器件的潛在故障斷定的。

　　舉例說明：

　　例一、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間規(guī)劃按加工、出產(chǎn)6英寸硅片、1M集成電路，圖形特形尺雨1.0um，操控粒子粒徑0..1um.

　　無塵車間空氣潔凈度等級請求：

　　光刻、勻膠區(qū)                ISO 3級

　　離子注入、刻蝕CVD、外延、分散等操作區(qū)       ISO 3級

　　離子注入、刻蝕CVD、外延、分散等修理區(qū)       ISO 5級

　　例二、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間規(guī)劃按加工、出產(chǎn)5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um，操控粒子粒徑0.2um.

　　無塵車間空氣潔凈度等級請求：

　　光刻、勻膠區(qū)             ISO 3級

　　離子注入、刻蝕CVD、外延、分散等操作區(qū)   ISO 4級

　　離子注入、刻蝕CVD、外延、分散等修理區(qū)   ISO 6級

　　2、一些電子商品出產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級

　　隨著信息產(chǎn)業(yè)技能的開展，很多電子商品功能、質(zhì)量的進步和出產(chǎn)過程的微細化，日益請求出產(chǎn)環(huán)境具有必定的空氣潔凈度等級和操控?zé)o塵車間內(nèi)技術(shù)出產(chǎn)所需的各類高純物質(zhì)的供應(yīng)質(zhì)量，現(xiàn)在國內(nèi)外還沒有一致電子商品的空氣潔凈度等級或出產(chǎn)環(huán)境操控請求的一致規(guī)則，各種電子商品的出產(chǎn)廠家根據(jù)其出產(chǎn)的商品品種、所采用的出產(chǎn)技術(shù)技能、出產(chǎn)技術(shù)設(shè)備、出產(chǎn)用原輔料以及無塵車間運轉(zhuǎn)的實踐經(jīng)驗斷定規(guī)劃締造無塵車間的空氣潔凈度等級。

　　舉例說明：

　　例一、薄膜晶體管五顏六色液晶顯示器出產(chǎn)用無塵車間，TFT-LCD具有體積小、質(zhì)量輕、易攜帶、耗電低、顏色傳神、大容量、高分辯示等長處。

　　各無塵車間空氣潔凈度等級，操控粒子粒徑為0.3um

　　清潔、涂膠、曝光間       ISO 4級

　　顯影、刻蝕間          ISO 5級

　　成盒間            ISO 5級

　　濺射、CVD間          ISO 6級

　　例二、某高密度磁帶出產(chǎn)用潔凈廠房、無塵車間操控微粒粒徑0.5um

　　各無塵車間的空氣潔凈度等級請求

　　涂布頭                       ISO 5級

　　備件、切帶、帶基、測驗、涂布間和烘干、固化間    ISO 6級

　　拼裝、修理間和有些原料庫     ISO 7級

　　砂磨、化驗間和配件間         ISO 8級

　　制品庫和有些原料庫           準潔凈間

　　3、精密機械、精細化工等商品出產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級

　　例一、一個陀螺儀出產(chǎn)用無塵車間

　　無塵車間空氣潔凈度等級請求

　　裝配間          ISO  6級

　　軸承加工間         ISO  5級

　　例二、一個感光膠片出產(chǎn)用無塵車間

　　流延機頭部，涂布機頭部    ISO 5級

　　涂布室，流延機室       ISO 6級