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千級(jí)無塵車間的設(shè)計(jì)要求
電子潔凈室的設(shè)計(jì)基于芯片生產(chǎn)車間的、集成電路潔凈室和磁盤制作車間。除了嚴(yán)厲操控粒子外，溫濕度的操控是、。照明(乃至光源的要求)微震等要求更加嚴(yán)厲，消除了靜電對(duì)生產(chǎn)產(chǎn)品的影響，使環(huán)境滿意電子產(chǎn)品在清潔環(huán)境中的生產(chǎn)工藝要求。
潔凈室(區(qū)域)溫、濕度應(yīng)依據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。當(dāng)生產(chǎn)過程沒有特殊要求時(shí)，其溫度可依據(jù)20~26℃，相對(duì)濕度30%~70%運(yùn)用。人員凈化室和客廳的溫度可在16~28°C運(yùn)用。依據(jù)符合世界ISO標(biāo)志的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)我國(guó)，潔凈室(區(qū))的潔凈度等級(jí)為1-9，電子潔凈室，其中1-5，氣流形式為單向活動(dòng)或混合活動(dòng) 6級(jí)氣流形式為非單向活動(dòng)，換氣次數(shù)為50-60次/ h; 7級(jí)氣流形式為非單向活動(dòng)，空氣交流次數(shù)為15-25次/ h; 8-9氣流活動(dòng)形式對(duì)錯(cuò)單向活動(dòng)，換氣次數(shù)為10-15次/ h。
穿過潔凈室(區(qū)域)天花板的各種開口的氣密性是保證潔凈室(區(qū)域)清潔和防止污染的重要措施。潔凈室和天花板結(jié)構(gòu)的平整度操控取決于龍骨接點(diǎn)的丈量。精度、水平應(yīng)逐一丈量，龍骨的下平面通過調(diào)整整個(gè)鋼絲吊架的長(zhǎng)度保持在規(guī)則的差錯(cuò)范圍內(nèi)。頂板的周邊應(yīng)緊密連接到墻壁上，接頭應(yīng)齊平并密封良好。天花板的高度為、,、板之間的空隙應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。 “標(biāo)準(zhǔn)”規(guī)則每塊板之間空隙的答應(yīng)差錯(cuò)不應(yīng)超過0.5毫米，密封劑均勻密封。依據(jù)潔凈室施工的實(shí)踐，上述規(guī)則是可行的，也能夠做到。
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